El horno de oxidación y difusión es un equipo de proceso clave para la producción de células fotovoltaicas. Mezcla y difunde trazas de boro, fósforo y otros elementos en la oblea de silicio a altas temperaturas para preparar uniones PN y compone circuitos integrados a partir de ellas. También se puede utilizar para preparar películas de SiOx en la superficie de la oblea de silicio para proteger las obleas. Es común usar termopares que miden tanto las partes internas como externas del horno para controlar la temperatura interna del horno de difusión que podría realizar la oxidación. proceso. Cada zona de temperatura especificada tiene un termopar externo e interno para garantizar que los resultados de la medición sean confiables. Los termopares de cuarzo de metal noble multipunto se utilizan para medir la temperatura de la oblea; comúnmente tienen de 3 a 9 puntos de medición, que representan la temperatura de la oblea con precisión.

 

 

Con este fin, Duchin ha desarrollado técnicas y productos patentados, como el termopar multipunto de cuarzo y metal noble para medir la temperatura de toda la sección del horno de difusión, y un dispositivo de calibración para termopar multipunto.

El producto tiene algunas características de medición de temperatura confiable, alta precisión, buena estabilidad, respuesta térmica rápida, antiinterferencia, resistencia al impacto de altas y bajas temperaturas, larga vida útil, etc. Los parámetros técnicos del Termopar de Cuarzo de Metales Nobles Multipunto son los siguientes:

Parámetros técnicos	Termopar interno
Tipo	S,R
Diámetro del cable o MIMS	φ0.35~0.5
Temperatura de trabajo (grados)	0~1100
Precisión (grado)	±1.0
Longitud del tubo protector (mm)	Menor o igual a 4000
Diámetro del tubo protector (mm)	φ12~18
Material del tubo protector	Cuarzo
Estructura del extremo caliente	Expuesto
Número de puntos	3~6 puntos
Terminación	Conector pequeño
Cable de compensación	SC{{0}}×0,5 FFP
Características de la estructura	Montar T/C en combinación para cada punto es bastante difícil.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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